テラヘルツのまめ知識
テラヘルツパルス波エコー法による3次元データの測定方法とその構成
テラヘルツパルス波エコー法を用いると、テラヘルツパルス波の照射位置（点）の深さ方向の内部構造を可視化できます。 更に、テラヘルツパルス波の照射位置を測定物表面で移動させ、測定範囲を点から面に拡張することにより内部構造を立体（3次元）的に可視化することができます。
この3次元情報（データ）の測定では、図1に示すような2軸の自動ステージ上にセンサーヘッドを固定したスキャン機構を用います。このスキャン機構を用いて、テラヘルツパルス波の照射位置を測定物上で走査しながら各照射位置からの反射パルス波列を逐次計測することで、図2に示すようなXY面と深さ情報を合わせ持つ3次元構造のデータキューブを得ることができます。この3次元情報を取得する測定を3次元イメージング（Three-Dimensional Imaging）といい、得られた3次元データから測定物内部の様々な構造情報を抽出することができます。
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図1: テラヘルツ波のスキャン機構の例.
(a) スキャン動作図. (b) 弊社取扱製品テラヘルツイメージングシステム.
図2: 測定で得られるデータキューブ.